COATING コーティング(DLC・PVD)
Me-DLC
Me-DLC(Metal inculuded DLC)とは
Me-DLCとは金属成分を添加して特性を改善したコーティング皮膜です。
弊社では添加金属にWC(タングステンカーバイト)を採用しています。
高硬度で優れた耐摩耗性と低い摩擦係数(低μ)を特徴とするトライボロジー特性に優れたコーティング皮膜で、相手攻撃性を緩和させた応用膜のa-C:H:Me膜となります。
仕様
成膜方式 | スパッタリング方式 |
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sp構造 | a-C:H:Me |
水素含有量 | 約20% |
硬度 | 10~15GPa |
1000~1500HV | |
膜厚 | 2~4µm |
酸化開始温度 | 350℃ |
成膜温度 | ~250℃ |
※硬度・膜厚・成膜温度につきましては環境に応じてチューニング致します。

特長
- ①相手攻撃性
- 相手材が軟質材(アルミ・銅・純鉄)のような摺動環境に向いております。
- ②飽和磁束密度
- 磁束スパッタリング方式により、ドロップレットが少ない平坦な仕上がりとなります。
- ③ヤング率
- ギガ面圧の摺動環境下でも部品の変形に膜が追従し剥がれ落ちることはありません。
膜機能(評価)
摩擦量評価
ボールオンディスク摺動試験
方式
ボールオンディスク
面圧P
2139MPa
周速V
0.5m /sec
時間
120分
OIL
万能グリス/常温
ボール材質
SUJ2
プレート材質
SKH51(焼入れ研磨)


摩擦係数評価
バーベルオンディスク摺動試験
方式
バーベルオンディスク
面圧
20~150MPa
周速
0.11~4.40 m/sec
時間
400秒/サイクル
OIL
GF6(80℃)
ボール材質
SKH51
プレート材質
SKH51


設備ラインナップ
処理 | 仕様 | 設備名 | 大阪 | 三重 | タイ | 中国 | 総計 |
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DLC | バッチ式(中型) | コーディング設備 | 3 | 9 | 8 | 2 | 22 |
DLC | バッチ式(大型) | コーディング設備 | 0 | 4 | 0 | 0 | 4 |
設備能力
有効炉内寸法
中型 | φ650㎜×H850㎜ |
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大型 | φ900㎜×H1500㎜ |
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